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2.7 Grating Lobes and Side Lobes 柵瓣和旁瓣
使用相控陣探頭會(huì)產(chǎn)生的另一個(gè)現(xiàn)象是會(huì)生成不希望出現(xiàn)的柵瓣和旁瓣。出現(xiàn)柵瓣和旁瓣這兩個(gè)緊密相關(guān)的現(xiàn)象是由于探頭發(fā)出的部分聲能以不同于主聲程的角度傳播造成的。旁瓣現(xiàn)象不僅限于相控陣系統(tǒng),在使用常規(guī)探頭時(shí),隨著晶片大小的增加也會(huì)出現(xiàn)旁瓣現(xiàn)象。柵瓣現(xiàn)象只會(huì)由相控陣探頭產(chǎn)生,因?yàn)橄嗫仃囂筋^上距離恒定的單個(gè)小晶片會(huì)生成單獨(dú)的聲波,這些聲波會(huì)導(dǎo)致出現(xiàn)柵瓣。這些不希望出現(xiàn)的聲波會(huì)從被測(cè)工件的表面反射,并會(huì)使圖像中出現(xiàn)虛假缺陷指示。晶片間距、晶片數(shù)量、頻率和帶寬都會(huì)對(duì)柵瓣的波幅有很大的影響。
圖2-28比較了兩種聲束形狀:在探頭孔徑近似的情況下,左圖中的聲束由間距為0.4mm的6個(gè)晶片生成,右圖中的聲束由間距為1mm的3個(gè)晶片生成。左側(cè)圖中的聲束形狀有些像錐形,右側(cè)圖中的聲束在其中心軸兩側(cè)約30度方向生出兩個(gè)多余的波瓣。
只要陣列中的單個(gè)晶片的尺寸等于或大于波長(zhǎng),就會(huì)產(chǎn)生柵瓣(晶片尺寸在半個(gè)波長(zhǎng)和一個(gè)波長(zhǎng)之間時(shí),是否產(chǎn)生柵瓣取決于電子偏轉(zhuǎn)角度)。因此在具體的應(yīng)用中使柵瓣最小化的最簡(jiǎn)單的方法是使用小晶片間距的探頭。使用特別設(shè)計(jì)的探頭,如:將大晶片分割成較小的晶片,或改變晶片間距,也可以減少不必要的波瓣。 |